在線(xiàn)熱偶真空計 型號:ZXHD/VMG0527

在線(xiàn)熱偶真空計 型號:ZXHD/VMG0527

這個(gè)系列自帶 2英寸 240X320液晶點(diǎn)陣顯示模塊，可以在現場(chǎng)讀出真空系統的狀態(tài)。傳感器為壓阻-熱導復合，綜合了壓阻在 500Pa以上不受氣體種類(lèi)影響|高|精度，熱導在 500Pa以下寬量程.
真空規應用場(chǎng)合：本真空規應用于工業(yè)應用、科研院所、半導體行業(yè)需要測量粗低真空的場(chǎng)合：一般真空壓力測量。前級管道和粗低真空壓力測量。氣體回填測量和控制。質(zhì)譜儀控制。啟動(dòng)高真空電離規。系統過(guò)程控制。檢測異常壓力，利用繼電器設提供系統安|全措施 控制系統壓力。PVD、CVD氣相沉積鍍膜硅單晶生長(cháng)
在線(xiàn)熱偶真空計 型號:ZXHD/VMG0527

技術(shù)指標:
測量范圍： 100kPa～0.1Pa
測量精度：100KP～500Pa: 5%-3-500P～1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作電壓： 12-24VDC
功率： <1.5瓦
控制觸點(diǎn)（可選組件）：2組 TTL級
通訊方式（可選組件）：RS485
模擬輸出（可選組件）：隔離輸出 4～20mA。